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SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續(xù)白光光譜，以及在許多不同波長下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測器可以處理。200mm 晶圓尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤，可提供 -60°C 至 180°C 的溫度范圍

ARS（Angular Response System）是一個針對各種光傳感器的收光角度分布特性測試系統(tǒng)。系統(tǒng)由一個高準(zhǔn)值高平行模擬光源（發(fā)散角0.1°），投射的高均勻度光斑直徑大于等于25mm，照射到待測的光傳感器上。系統(tǒng)配備的角度測試，其角度分辨率可小于0.1°，工作范圍可由-90°~90°。系統(tǒng)軟件可自動繪制角度分布圖與收光曲線圖，是您開發(fā)各種光傳感器模塊結(jié)構(gòu)的最佳利器。

單光子探測器可以對單個光子進(jìn)行探測和計(jì)數(shù)，在許多可獲得的信號強(qiáng)度僅為幾個光子能量級的新興套用中，單光子探測器可以一展身手。SPD2200是針對新型的單光子偵測器（SPD, Single Photon Detector），如應(yīng)用於dToF的SPAD（Single Photon Avalanche Detector）光感測器，的特性測試分析設(shè)備。

SL-X 環(huán)境光傳感器高分辨率校準(zhǔn)光源 是一個標(biāo)準(zhǔn)光源可模擬標(biāo)準(zhǔn)室內(nèi)/室外光譜，具有以下特點(diǎn)：1. 可模擬多種標(biāo)準(zhǔn)光源光譜輸出 2. 高光強(qiáng)與高動態(tài)范圍 3. 高精度16 bit光強(qiáng)分辨率控制 4. 智能控制 5. 應(yīng)用于各種光傳感器的檢測與性能測試

光焱科技SG-A CMOS圖像傳感器測試儀是商用CMOS圖像傳感器測試儀，可以提供全面的CMOS圖像傳感器參數(shù)表征。被測設(shè)備可以是幾種類型的CMOS圖像傳感器模塊。檢驗(yàn)程序符合EMVA 1288標(biāo)準(zhǔn)。因此，可用于進(jìn)行晶圓級光學(xué)檢測、加工參數(shù)控制、微透鏡設(shè)計(jì)、微透鏡驗(yàn)證。SG-A CMOS圖像傳感器測試儀的高度準(zhǔn)直光束（1°）可以克服傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)（如積分球系統(tǒng)）無法解決的新制造工藝的檢測困難。